濕度傳感器基于不同的原理有多種類別：電容式、電阻式、重力測(cè)量式、微波式等；而基于敏感材料的不同又可分為：半導(dǎo)體氧化物、高分子材料、多孔的有機(jī)或無(wú)機(jī)材料等。濕敏元件是最簡(jiǎn)單的濕度傳感器，主要有電阻式和電容式兩大類：

1）電阻式濕敏傳感器

濕敏電阻的特點(diǎn)是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜，當(dāng)空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時(shí)，元件的電阻率和電阻值都發(fā)生變化，利用這一特性即可測(cè)量濕度。濕敏電阻的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高，缺點(diǎn)則是線性度和產(chǎn)品的互換性差。濕敏電阻的種類很多，例如金屬氧化物濕敏電阻、硅濕敏電阻、陶瓷濕敏電阻等。其濕敏材料以多孔陶瓷種類最多。

2）電容式濕敏傳感器

濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酞亞胺、酪酸醋酸纖維等。當(dāng)環(huán)境濕度發(fā)生改變時(shí)，濕敏電容的介電常數(shù)發(fā)生變化，使其電容量也發(fā)生變化，其電容變化量與相對(duì)濕度成正比。濕敏電容的主要優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高、產(chǎn)品互換性好、響應(yīng)速度快、濕度的滯后量小、便于制造、容易實(shí)現(xiàn)小型化和集成化，其精度一般比濕敏電阻要低一些。

除電阻式、電容式濕敏傳感器之外，還有電解質(zhì)離子型濕敏傳感器、重量型濕敏傳感器（利用感濕膜重量的變化來(lái)改變振蕩頻率）、石英振子式濕敏傳感器、光強(qiáng)型濕敏傳感器、聲表面波濕敏傳感器等。